PLATIT普拉提Pi系列PVD涂层设备维修护理改造升级

运用到的技术:

• 2 x LARC PLUS (侧向旋转阴极PLUS) 用于电弧沉积

• 提高靶材利用率(可提高30%)
• 强化的磁场系统和由此带来的沉积效率的提高
• 快速的靶材交换

运用到的刻蚀技术：

• LGD (侧向辉光放电)
• Ar 辉光放电的等离子体刻蚀
• 金属离子刻蚀 (Ti, Cr)

装载和运行周期：

• 涂层区域 [mm]：353 x H498
• 获得均匀涂层厚度的涂层高度：414mm
• 载重：160kg
• 4 - 5 炉/天

转车系统模式：

• 两重旋转的拨片模式或者三重旋转的齿轮盒系统模式

软件：

• 使用和维护简单
• PLATIT的智能系统 (PC和PLC系统)
• 现代化的触摸屏控制系统
• 工艺参数和流程的数据记录以及实时显示
• 手动和自动的过程控制
• 远程诊断和维护

设备尺寸：

• 外观尺寸 [mm]： W2000 x D1550 x H2250